正航儀器拾掇復合式分子泵

☀ 概述 ：由于渦輪分子泵的級工作壓力較低 (10-1 ～ 1Pa) ，當僅用機械泵做前級泵時違反機械泵的有用抽速計劃，影響系統的抽氣效果。

☀ 此外，由于渦輪分子泵前級壓力低，前級泵油和分子泵自身軸承潤滑油的蒸氣返流率 影響了分子泵進口的清潔程度。

☀ 在某些領域中 ( 如半導體、等離子體刻蝕等 ) ，渦輪分子泵滿足不了即懇求高的本底真空，又需要在工作真空度計劃內具有較大的抽速和出色的清潔條件的需要。

☀ 這些都懇求前進渦輪分子泵的前級壓力和較高入 口壓力下的抽速，以習氣更多領域的需要。

☀ 所以我們通過對渦輪分子泵和牽引分子泵的不斷研討改進，運用兩種分子泵的各自利益，將兩者聯絡，提出了復合分子 泵 70 年代初，法國的 Alcatle 公司首要研制成功 MODEL 型復合式分子泵。

☀ 對于復合分子泵，國內也進行了很多研討于 80 年代末及 90 年代初，中科院北京真空物理實驗室和東北大學相繼研制出渦輪一盤式復合分子泵和渦輪—筒式復合分子泵。 

☀ 復合式分子泵的結構特征

☀ 復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的利益于一體泵在很寬的壓力計劃內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的緊縮比，大大前進了泵的出口壓力。

☀ 法國 Alcatle 公司出產的一種選用氣體靜壓軸承和動密封的復合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。 

☀ 復合式分子泵的辦法很多，按結構分，首要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽 引泵的串聯組合。

☀ 渦輪級首要用來前進泵的抽速，一般選用有利于前進抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以內。牽引級首要用來增加泵的緊縮比，前進泵的出口壓力。 

☀ 盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規矩開出數條型線溝槽，然后將數塊圓盤串接起來構成，型線有阿基米德螺線、對數螺線、圓弧線等。

☀ 抽氣時靠高速翻滾的圓盤對氣體分子進行“拖動”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向活動，然后抵達抽氣目的。 

☀ 筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋 槽。

☀ 由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充沛運用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，前進泵的抽氣效果。

☀ 在計劃 制造中，可以通過改動螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來抵達較志向的抽氣效果。

☀ 在復合分子泵的計劃中，有必要處理好渦輪級與牽引級之間的應配和聯接聯絡。

☀ 由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而 牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片緊縮下來的氣體分子的活動辦法俄然改動，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增 加，抽氣才干下降。

☀ 因此，在計劃時應在渦輪級和牽引級改換處加上過渡級結構，以前進泵的抽氣功用，跟著復合分子泵的不斷改進，其使用領域越來越廣，在某些抽氣系統上可以替代渙散泵，縮短了系統的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環境。